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日本山武
CMQ9500/0002数字质量流量控制器(小流量型)
CMQ系列是高性能数字质量流量控制器,它使用由山武公司研制的感热式微流量传感器和比例电磁阀这种高水平执行器。因此CMQ具有高性能低成本。CMQ具有响应快、控制范围宽的特点,能满足多种工业控制要求。
规格书
项目
内容
CMQ9500
CMQ0002
阀门类型
比例电磁阀
阀门动作
常闭(N.C)
标准全开流量氮气转化值
0.5L/min(标准)
2.0L/min(标准)
气体类型
氮气,氧气,空气,氩气,二氧化碳,煤气,甲烷100%,丁烷100%,丙烷100%(气体必须气燥,不含腐蚀性成分,例氯气,硫酸等)
控制范围
1-100%FS
响应时间
0.5s max.到达设定点(±2%FS)
阀门输出更新周期
10ms
精确度
±2%FSmax
±1%FSmax
允许差压
9.8KPa
98KPa
压阻(max)
980KPa
动作温度
-10~60℃
湿度
10~90%RH(无浓缩)
流量设定
设置方法
①键盘动作(显示型) ②外部设置电压输入③通讯(RS-485型)
电压范围
0~5VAC/1~5VAC(通过外部改输入更改参数设定)
流量显示显示型
显示方法
4位7段LED指示
显示精度(在标准温度和压差)
±2%Fs±1digit
±2%Fs±1digit
综合设置
显示和设定范围
0.1~9,999,999,9L
1~9,999,999L
显示和设定结果
0.01L
0.1L
流量输出
标准电压范围
0至5V/1至5V(参数设定更改-外部输入)
精确度
±0.5%FS(连接程序紧急输入必须100KΩ)
报警和事件输出
报警输出:1;事件输出:2;30Vbc 30mA max(打开选择器无结论型输出)
外部切换输入
外部3-STEP更改输入(0PEN/GND5V):1点;外部开关输入:3点
参考电压输出
5.0VDC±0.5%消耗电流5mA max
电源
15-24VDC,消耗电流300mA max
气体流量介质
SUS316,特浮龙
重量
约1.2kg
附件
81446681-001连接专门电缆
81446682-001AC编程器
81446683-001流量设置电位计
选型表
表
选型
说明
Ⅰ
基本型号
CMQ
↓
↓
数字大流量控制
Ⅱ
测量范围
9500
O
O
0.004~0.500L/min(标准)
0002
O
O
0.02-2.00L/min(标准)
Ⅲ
显示
B
O
O
显示型(综合)
C
O
O
显示型(分离)
Ⅳ
材质
S
O
O
SUS316
Ⅴ
连接
U
O
O
9/16-18UNF
R
O
O
Rc1/4
S
O
O
1/4-铁模
Ⅵ
气体
N
O
-
氮气,空气
A
O
-
氩气
C
O
-
二氧化碳气
S
-
O
氧气
G
O
-
城市煤气13A
M
O
-
甲烷100%
L
O
-
丙烷100%
B
O
-
丁烷100%
Ⅶ
位置
00
O
O
无
01
O
O
RS-485通讯(CPL)参数
Ⅷ
附加处理
00
O
-
无
01
-
O
气体介质除油
Ⅸ
设计代码
01
O
O
产品译文
气体种类
CMQ9500
CMQ002
控制流量范围
设定/显示结果
控制流量范围
设定/显示结果
空气,氮气
0.004~0.500
0.002
0.02~2.00
0.01
氩气
0.004~0.500
0.002
0.02~2.00
0.01
二氧化碳
0.003~0.300
0.001
0.01~1.20
0.005
氧气
0.004~0.500
0.002
0.02~2.00
0.01
城市煤气
0.004~0.500
0.002
0.02~2.00
0.01
甲烷100%
0.004~0.500
0.002
0.02~2.00
0.01
丙烷100%
0.002~0.160
0.001
0.006~0.6
0.002
丁烷100%
0.002~0.160
0.001
0.006~0.6
0.002
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